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中微公司:发布用于高性能 Mini-LED 量产的 MOCVD 设备 Prism

发布时间:2022-05-24 11:46:17   作者:天博体育在线登陆   来源:天博体育下载链接

  6 月 17 日消息 从中微公司获悉,今日,中微半导体设备(上海)股份有限公司(简称“中微公司”)宣布推出为高性能 Mini LED 量产而设计的 Prismo UniMax MOCVD 设备。

  据介绍,中微公司 Prismo 系列 MOCVD 设备已进入全球大多数氮化镓基蓝绿光 LED 制造商,此次推出的 Prismo UniMax 是中微公司 Prismo 系列 MOCVD 设备的最新产品,该设备在同一系统中可配备多达 4 个反应腔。Prismo UniMax 配置了多区温度补偿加热系统,具备波长均匀性、重复性和稳定性。

  该设备还具有其他一些特征,如通过石墨盘晶片排布的最优化,其加工容量可以延伸到生长 164 片 4 英寸或 72 片 6 英寸晶片。

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